壓力變送器

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新型壓力變送器提高了真空沉積應用中的穩定性和速度

作時間:2019-08-03  來源:  作者:
   
大多數傳統的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力。節流閥設置可能花費數千美元。它還需要一個單好的控制模塊來為閥門供電,提供PID數據和設定點功能。節流閥設置還可能在更換氣體或等待腔室中的氣體沉降時導致延遲。
 
使用快速作用的比例控制閥,將控制儀器放置在腔室上游可以提供更快的響應時間和更好的穩定性。上游方法還消除了對額外閥門,切割設備需求和設置成本的需求。Alicat儀器提供了這種替代方案。
 
使用壓力變送器控制上游的真空水平
對于大型或OEM項目,壓力變送器(外部傳感器)壓力控制器能夠在安裝在腔室上游時控制真空水平。當過程壓力處于高真空或超高真空并需要外部壓力表時,使用該系列。壓力變送器從傳感器獲取模擬信號,并使用比例閥提供閉環控制。
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通過添加外部壓力傳感器,可以更精確地保持腔室壓力,同時還允許用戶好立于真空沉積系統整體改變或調節用過的氣體。這允許更快地施加中性氣體,改善涂層環境中的控制和穩定的壓力水平。
 
壓力變送器壓力控制器為外部真空計提供電源,并兼容所有儀表技術,包括離子,皮拉尼和冷陰極以及有源或無源儀表和組合儀表。
 
集成真空控制器(IVC)不再有節流閥體積
對于沒有現有真空計的小型實驗和項目,Alicat IVC就是解決方案。與壓力變送器一樣,它減少了傳統節流閥壓力控制方法的體積,復雜性和費用。我們將真空傳感器直接集成到設備中,從而可以立即控制真空室中的壓力。我們的傳感器能​​夠以高精度到低范圍運行,低至10毫托。Alicat IVC還包括直接來自設備的PID控制,以及氣動隔離傳感器 - 與市場上的其他解決方案相比,確保更高的精度 - 精確測量腔室和氣體好立性。
 
在真空涂層應用中將壓力控制裝置放置在腔室的上游節省了時間,成本并提高了真空沉積工具的精度。
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